我们利用自有设备和超过20年的行业经验，为客户提供高品质的ALD研发服务

ANGSTROM-DEP 系统的应用实例

金属铜表面ALD氧化铝薄层抗灼烧

• 薄层不改变铜片的外貌

• 有氧化铝镀膜的铜片明显抗灼烧

二氧化钛在50纳米塑料纳米颗粒上的镀膜

• 均匀，高质量的镀膜来源于优良的ALD粉末系统

• 低温镀膜（塑料，<80°C）

二氧化钛在纳米孔内的镀膜

• 8nm介孔材料内壁镀膜

• 成熟的ALD纳米孔表面改性技术

纳米孔内的ALD

• Pt粒子在纳米孔中

ALD超薄分离膜

• 均一的超分离膜

锂电池阳极材料的镀膜

• 氧化铝薄膜改善阳极材料的性质